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Definición - ¿Qué significa nanolitografía?
La nanolitografía es una rama de la nanotecnología y el nombre del proceso para imprimir, escribir o grabar patrones en un nivel microscópico para crear estructuras increíblemente pequeñas. Este proceso generalmente se usa para crear dispositivos electrónicos más pequeños y rápidos, como micro / nanochips y procesadores. La nanolitografía se utiliza principalmente en diversos sectores de la tecnología, desde la electrónica hasta la biomédica.Techopedia explica la nanolitografía
La nanolitografía es un término amplio utilizado para describir varios procesos para crear patrones a nanoescala en diferentes medios, el más común de los cuales es el material semiconductor de silicio. El propósito predominante de la nanolitografía es la reducción de dispositivos electrónicos, lo que permite que más partes electrónicas se apiñen en espacios más pequeños, es decir, circuitos integrados más pequeños que dan como resultado dispositivos más pequeños, que son más rápidos y más baratos de fabricar, ya que se requieren menos materiales. Esto también aumenta el rendimiento y los tiempos de respuesta porque los electrones solo necesitan viajar distancias muy cortas.
Algunas técnicas utilizadas en nanolitografía son las siguientes:
- Litografía de rayos X: implementada mediante un enfoque de impresión de proximidad y se basa en rayos X de campo cercano en difracción de Fresnel. Se sabe que extiende su resolución óptica a 15 nm.
- Doble patrón: un método utilizado para aumentar la resolución de tono de un proceso litográfico mediante la impresión de patrones adicionales entre espacios de patrones ya impresos en la misma capa.
- Litografía de escritura directa con haz de electrones (EBDW): el proceso más común utilizado en la litografía, que utiliza un haz de electrones para crear patrones.
- Litografía ultravioleta extrema (EUV): una forma de litografía óptica que utiliza longitudes de onda de luz ultracorta de 13.5 nm.
